Theatskleista linijinė skalėskirtas staklėms ir sistemoms, kurioms reikalingas didelio tikslumo matavimas, ir pašalina paklaidą bei atvirkštinę paklaidą, kurią sukelia rutulinio sraigto temperatūros charakteristikos ir judėjimo charakteristikos.
Taikomos pramonės šakos:
Puslaidininkių pramonės matavimo ir gamybos įranga
Grandinių plokščių surinkimo mašina
Tikslioji staklės
Didelio tikslumo staklės
Matavimo mašinos ir komparatoriai, matavimo mikroskopai ir kttikslioji matavimo įranga
Serijinių produktų taikymas ir pristatymas:
LS40 serijos linijinių grotelių skaitymo galvutė pritaikyta M4 serijos itin plonoms nerūdijančio plieno svarstyklėms su 40 μm grotelių žingsniu.Dėl vieno lauko nuskaitymo ir mažo delsos padalijimo apdorojimo jis turi puikų dinaminį našumą.
RU serijos linijinių grotelių skalė yra laipsninė 20 μm grotelių skalė, skirta teikti grįžtamąjį ryšį atliekant didelio tikslumo tiesinius matavimus.Jame naudojama pažangi trukdžių grotelių linijų žymėjimo technologija, o grotelių linijos paklaida kontroliuojama žemiau 40 nm.Tam naudojamos didelio stiprumo, korozijai atsparios specialios medžiagos.Nerūdijančio plieno medžiaga užtikrina ilgalaikį ir stabilų naudojimą.
RX serijos pakopinės skaitymo galvutės turi RH Optics pažangų optinį nulinės padėties jutiklį.Jis naudoja pažangiausią nulinio taško vieno lauko nuskaitymo technologiją, pažangią automatinio stiprinimo ir automatinio nuokrypio korekcijos technologiją „Handing Optical“.Jis turi mažą elektroninio padalijimo paklaidą, stiprią taršos apsaugą ir yra suderinamas su linijinėmis grotelėmis ir žiedinėmis grotelėmis.
Mechaninė struktūra:
Atskleista linijinė skalėapima plienines juostines svarstykles ir skaitymo galvutę, kurios yra nekontaktinės.Atvirų linijinių grotelių skalės plieninės juostos grotelių skalė yra tiesiogiai pritvirtinta prie montavimo paviršiaus, todėl tvirtinimo paviršiaus lygumas turės įtakos linijinių grotelių skalės tikslumui.
Paskelbimo laikas: 2023-02-16
