Theatvira linijinė skalėskirtas staklėms ir sistemoms, kurioms reikalingi didelio tikslumo matavimai, ir pašalina paklaidą bei atvirkštinę paklaidą, kurią sukelia rutulinio sraigto temperatūros charakteristikos ir judesio charakteristikos.
Taikomos pramonės šakos:
Puslaidininkių pramonės matavimo ir gamybos įranga
Grandinės plokščių surinkimo mašina
Tiksliosios staklės
Didelio tikslumo staklės
Matavimo mašinos ir lygintuvai, matavimo mikroskopai ir kititiksliosios matavimo įrangos
Serijinių produktų taikymas ir pristatymas:
LS40 serijos linijinio gardelio skaitymo galvutė pritaikyta M4 serijos itin plonai nerūdijančio plieno skalei su 40 μm gardelės žingsniu. Vieno lauko skenavimas ir mažo vėlavimo skaidymo apdorojimas užtikrina puikų dinaminį našumą.
RU serijos linijinė grotelių skalė yra pakopinė 20 μm grotelių skalė, skirta užtikrinti grįžtamąjį ryšį ir atlikti didelio tikslumo linijinius matavimus. Joje naudojama pažangi interferencinių grotelių linijų žymėjimo technologija, o grotelių linijos paklaida yra kontroliuojama žemiau 40 nm. Joje naudojamos didelio stiprumo, korozijai atsparios specialios medžiagos. Nerūdijančio plieno medžiaga užtikrina ilgalaikį ir stabilų naudojimą.
RX serijos inkrementinėse skaitymo galvutėse įrengtas pažangus „RH Optics“ optinis nulinės padėties jutiklis. Jose įdiegta pažangiausia „Handing Optical“ nulinio taško vieno lauko skenavimo technologija, pažangi automatinio stiprinimo ir automatinio nuokrypio korekcijos technologija. Jos pasižymi maža elektroninio padalijimo paklaida, stipriomis apsaugos nuo taršos savybėmis ir yra suderinamos su linijinėmis gardelių skalėmis ir žiedinėmis gardelėmis.
Mechaninė konstrukcija:
Atvira linijinė skalėapima plieninę juostinę skalę ir skaitymo galvutę, kurios yra bekontakčios. Atviros linijinės grotelių skalės plieninė juostinė grotelių skalė yra tiesiogiai pritvirtinta prie tvirtinimo paviršiaus, todėl tvirtinimo paviršiaus lygumas turės įtakos linijinės grotelių skalės tikslumui.
Įrašo laikas: 2023 m. vasario 16 d.
